静电电荷在后端半导体制造中通过静电吸引(ESA)、静电放电(ESD)和电磁干扰(EMI)三种方式影响良率。其中ESD可造成高达25%以上的良率损失。监测、分析和控制是应对静电威胁的核心策略,需覆盖粘接、组装、封装和测试各环节。本文为您解析后端半导体中的ESD危害与完整防控体系。
安装了离子风机,ESD问题却依然存在?原因可能出在
不同产品的ESD敏感度差异巨大——先进微处理器低于
ANSI/ESD S3.1标准为何不规定放电时间和